原理描述
采用硅片上經(jīng)表面微加工的多晶硅結構,用多晶硅的彈性元件支撐并提供加速度平衡所需的阻力,結構偏轉是通過(guò)有獨立的固定極板和附加在移動(dòng)物體上的中央極板組成的可變電容來(lái)測量的,固定極板通過(guò)方波的每π個(gè)相位來(lái)控制,加速度傳感器受到加速度作用后改變了平衡,使輸出信號的幅度與加速度成正比。
本加速度傳感器是雙軸電壓輸出型和PWM輸出兩用傳感器,輸出與加速度成正比的電壓信號或者輸出與加速度成正比的PWM信號。可以直接進(jìn)行AD采樣或者與微處理器連接。測量范圍正負10g,在測量范圍內有較高的精度,可以測量靜態(tài)或者動(dòng)態(tài)加速度,傳感器內部集成了高精密電壓源,工作電壓范圍寬,壓鑄鋁或者塑料防水外殼可選,該加速度傳感器將在慣性導航、地震監測、交通安全、運動(dòng)測量、電力機械等領(lǐng)域得到廣泛的應用。
三、傳感器特點(diǎn):
(1)X、Y雙軸測量。
(2)寬量程、高精度
(3)低功耗,平均功耗小于15mA
(4) 可承受高達1000g加速度的沖擊
(5)寬電壓工作,或可定制DC5V、DC12V、DC24V、DC36V等。
(6)高防護等級,其中帶耳壓鑄鋁外殼防護等級IP67。
(7)傳感器具有自測功能。在上電時(shí)可自動(dòng)完成自測校準。
(8)電壓輸出和PWM輸出兩用。
(9)內部全密封灌膠,低溫依賴(lài)性好。
四、技術(shù)參數
項目 |
最小值 |
典型值 |
最大值 |
備注 |
量程 |
±10g |
其他量程 | ||
非線(xiàn)性 |
0.2%FS |
|||
測量誤差 |
0.2% |
1% |
||
電壓輸出靈敏度 |
85mv/g |
100 mv/g |
125 mv/g |
|
零點(diǎn)占空比輸出 |
44% |
50% |
56% |
@25℃ |
零點(diǎn)電壓輸出 |
2.3V |
2.5V |
2.7V |
@25℃ |
帶寬 |
6K |
3dB | ||
電源電壓 |
6 |
12 |
15 |
可定制其他 |
溫度范圍 |
-40℃ |
25℃ |
80℃ |
|
尺寸 |
可選 |
|||
電纜線(xiàn) |
1米 |
默認,可定制 |